發布日期:2022-10-09 點擊率:42
多組分密度計的優點如可維護性和高精度在線測量是相同的,但它是一個具有用于半導體制造工藝的小型電池型發射器的模型。
多組分密度計的特點
三個組件中的雙組分密度計側可以實時實現
標準配備模擬DC 4-20mA(2系統)和數字RS232C
標準配備測量誤差輸出和報警輸出
標準配備自診斷功能和錯誤信息顯示
小巧輕便的蜂窩發射器可以直接安裝在線路上
采用PFA的液體接觸材料對液體化學品沒有影響,輸出設計小
使用
CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度控制
清洗過程中清洗液濃度的控制(HF + HNO3·HF + H2SiF6等)
蝕刻過程中的蝕刻劑濃度控制(TMAH +抗蝕劑·TMAH + Si等)
優點
可以高精度地進行連續測量
免維護,無需定期調整和校準
安裝時的各種調整是不必要的,并且安裝容易
通過實時輸出輕松反饋處理
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