同 AWM2000 系列一樣,惠斯頓雙電橋控制氣體流量測量。AWM3000 系列經過放大;因此,該系列可用于增加增益和將電壓偏置引入傳感器輸出。加熱器控制電路和傳感橋供電電路位于封裝電路板上。
注意:產品損傷
AWM 系列微橋式氣體質量流量傳感器不適用于測量液體流量,液體流過傳感器時會損壞傳感器。
不遵守這些說明可能會導致產品受損。
產品 | 信號調節 | 補償溫度范圍 | 流量/壓力范圍 | 介質兼容性 | |
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AWM3100V | 放大 | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | + 200 SLPM | 僅干燥氣體 | |
AWM3130V | 放大 | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | + 30.0 sccm | 僅干燥氣體 | |
AWM3150V | 放大 | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | + 30.0 sccm | 僅干燥氣體 | |
AWM3200CR | 放大 | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | 0 mbar 至 5.0 mbar [0 H20 至 2.0 H2O] | 僅干燥氣體 | |
AWM3200V | 放大 | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | ±5.0 mbar [2.0 inH2O] | 僅干燥氣體 | |
AWM3201CR | 放大 | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | 0 mbar 至 1.25 mbar [0 H20 至 0.5 H2O] | 僅干燥氣體 | |
AWM3205V | 放大 | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | ±5.0 mbar [2.0 inH2O] | 僅干燥氣體 | |
AWM3300V | 放大 | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | ±1000 sccm (1 SLPM) | 僅干燥氣體 | |
AWM3303V | 放大 | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | ±1000 sccm (1 SLPM) | 僅干燥氣體 |