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Physik Instrumente (PI)

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通過快速、精確的運動控制解決方案解決 MicroLED 制造中的挑戰(zhàn)

更輕巧、更靈活的設計、更少的能耗、更高的分辨率以及更高的對比度和亮度:這是未來顯示技術應該提供的,以滿足對功能、處理和壽命的要求。例如,它是關于進一步提高增強和虛擬現(xiàn)實應用平視顯示器的離眼距離和獨立視角,使智能手表等可穿戴設備更加緊湊、堅固和節(jié)能,但它也是關于增加大面積屏幕和顯示面板的色彩強度和亮度。

比較顯示技術:LCD – LED – OLED – MicroLED

目前,液晶顯示器(LCD)在市場上占主導地位。使用這項技術,每個像素由 RGB 顏色的三個子像素生成,紅色、綠色和藍色。作為發(fā)光二極管的 LED 在這里僅用作白光變體作為背景顏色。也可以制造彩色 LED,但是,由于它們的尺寸,它們僅適用于大型屏幕。

MicroLED 顯示器由微小的紅色、綠色和藍色 LED 陣列組成,其中每個 LED 對應于顯示器上的一個像素。像素是自發(fā)光的、可調光的,并且可以完全關閉,類似于 OLED 和等離子顯示器,因此不需要任何背景照明。與 OLED 相比,MicroLED 基于氮化鎵技術,與 OLED 相比,該技術提供了 30 倍的整體亮度和更高的 Lux/W 效率,因此電流消耗更低。MicroLED 的基本優(yōu)勢還在于更高的色彩飽和度和對氧氣和水分的較低敏感性,因此不需要封裝。

量產的挑戰(zhàn)

MicroLED 顯示器由數百萬個微小像素組成。為了開發(fā) MicroLED 技術的潛力并使經濟上可行的大規(guī)模生產成為可能,制造商必須克服由極小尺寸、功能和數量的組件帶來的許多挑戰(zhàn)。

要制造顯示器,必須首先通過外延生長生成 MicroLED 晶圓。在特殊的取放工藝中,成千上萬個幾微米大小的 LED 芯片(陣列)被拾取并轉移到基板或背板上。這需要快速、精確和可靠的傳輸過程——這是 MicroLED 制造的主要挑戰(zhàn)之一。放置單個陣列所需的設備可以以±1.5 μm 的精度定位。這意味著制造商必須開發(fā)出能夠以微觀精度提供高質量的工藝,同時達到大規(guī)模生產的速度。

mmicroLED 制造 - 取放工藝

另一個關鍵點是像素良率。壞點可能出現(xiàn)在制造過程的不同階段,因此檢查和修復不僅應在過程結束時進行,而且應在整個制造過程中進行,以確保均勻的亮度(亮度)和波長(顏色)。為了在具有全分辨率(1920 x 1080 像素)的 RGB 彩色顯示器上實現(xiàn)少于五個壞點的比率,需要 99.9999 % 的良率。

對于檢查,成像系統(tǒng)可以檢測和分析 MicroLED 芯片的亮度。同樣,挑戰(zhàn)在于所需的精度和速度。目前修復 MicroLED 的解決方案是紫外線輻射或選擇性激光技術等技術。

優(yōu)化吞吐量和精度

為了滿足對精度和速度的高要求,PI 為全球的研究小組和制造商提供運動、控制和軟件解決方案。憑借多年的精準定位經驗、廣泛的技術和高水平的垂直整合,PI能夠選擇最合適的方法來解決客戶面臨的挑戰(zhàn)。

平行運動學解決方案(例如六足位移臺)提供 LED 和基板之間的精確對準。空氣軸承運動平臺在晶圓之間提供了苛刻的連續(xù) XY 精度,并且為了在保持個位數微米性能的同時實現(xiàn)終極速度,龍門系統(tǒng)提供了最佳性能。

PI 的系統(tǒng)工程師正在協(xié)助客戶進行設計和生產規(guī)劃階段。PI 團隊已準備好配置客戶特定的解決方案,進一步優(yōu)化生產流程,推動新一代顯示器的商業(yè)化。遍布全球的生產和服務地點確保了交付和性能的可靠性和質量——即使需求和產量不斷變化。


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